خانه مطالب فنی آشنایی با سنسورهای شتابنگاری MEMS

بطور کلی شتاب­نگارها ابزاری می ­باشند که شتاب­ های ناشی از نیروهای استاتیکی و دینامیکی را اندازه­ گیری می­ نمایند. تاکنون شتابنگارهای بسیاری بر پایه سیستم­ های پاندولی، تعادل نیرویی و کریستال­های پیزوالکترونیک ساخته شده ­اند که اغلب آن­ها ظاهری بزرگ، حجیم و هزینه­ ای بالا دارند که قابلیت استفاده از آن­ ها را در صنایع با محدودیت مواجه می­ سازد. در این میان، تکنولوژی MEMS راه­کاری برای تولید شتاب­نگارهایی با ابعاد و اندازه­ای کوچک می­ باشد که می­تواند در صنایع مختلف مورد استفاده قرار گیرد. علاوه بر ابعاد مناسب هزینه پایین این تکنولوژی بسیاری از محدودیت­ های موجود را از پیش پای صنایع مختلف برداشته است.

با توجه به ماهیت و ویژگی­ های منحصر به فرد تکنولوژی MEMS، امروزه از سنسورهای خازنی MEMS که بر اساس فناوری میکروالکترومکانیک­ ها (MEMS) تولید می­ گردند برای ساخت سنسورهای شتابنگاری استفاده می­گردد. نحوه­ی عملکرد این سنسورهای خارنی که با استفاده از تکنولوژی MEMS تهیه شده­ اند در شکل نمایش داده شده است. در این سنسورها از تغییرات ایجاد شده در ظرفیت خازنی ناشی از جابجایی ­ها برای برآورد شتاب استفاده می­ گردد. بر این اساس، سنسورهای خازنی با ابعاد بسیار کوچک که توانایی ثبت شتاب ­های حرکتی اندک از حدود 5mg± تا شتاب­های چند برابر شتاب جاذبه 5g± دارند، مورد توجه قرار گرفت.

MEMS 01

هم ­اکنون در بخش صنعت از این سنسورهای شتابنگاری (MEMS) در سیستم ­های کیسه هوای خودروها، گوشی­ های تلفن همراه، هِد­های هارد دیسک­ های کامپیوترها و غیره بصورت انبوه مورد استفاده قرار می­گیرد. همچنین این تکنولوژی در سال­های اخیر جایگاه خاصی در بخش مهندسی پیدا نموده است و در بسیاری از کشورهای پیشرفته و لرزه­ خیز جهان از سنسورهای ساخته شده بر اساس این تکنولوژی در سامانه ­های هشدار سریع، کاهش خسارت و پایش سلامت سازه ­ها استفاده می­گردد.

دقت مناسب، هزینه پایین و ابعاد کوچک این سنسورهای خازنی سبب شده است که این تکنولوژی به عنوان گزینه ارجح در ساخت سنسورهای شتابنگاری IIEES-HAT استفاده گردد.

 



به ما بپیوندید