بطور کلی شتابنگارها ابزاری می باشند که شتاب های ناشی از نیروهای استاتیکی و دینامیکی را اندازه گیری می نمایند. تاکنون شتابنگارهای بسیاری بر پایه سیستم های پاندولی، تعادل نیرویی و کریستالهای پیزوالکترونیک ساخته شده اند که اغلب آنها ظاهری بزرگ، حجیم و هزینه ای بالا دارند که قابلیت استفاده از آن ها را در صنایع با محدودیت مواجه می سازد. در این میان، تکنولوژی MEMS راهکاری برای تولید شتابنگارهایی با ابعاد و اندازهای کوچک می باشد که میتواند در صنایع مختلف مورد استفاده قرار گیرد. علاوه بر ابعاد مناسب هزینه پایین این تکنولوژی بسیاری از محدودیت های موجود را از پیش پای صنایع مختلف برداشته است.
با توجه به ماهیت و ویژگی های منحصر به فرد تکنولوژی MEMS، امروزه از سنسورهای خازنی MEMS که بر اساس فناوری میکروالکترومکانیک ها (MEMS) تولید می گردند برای ساخت سنسورهای شتابنگاری استفاده میگردد. نحوهی عملکرد این سنسورهای خارنی که با استفاده از تکنولوژی MEMS تهیه شده اند در شکل نمایش داده شده است. در این سنسورها از تغییرات ایجاد شده در ظرفیت خازنی ناشی از جابجایی ها برای برآورد شتاب استفاده می گردد. بر این اساس، سنسورهای خازنی با ابعاد بسیار کوچک که توانایی ثبت شتاب های حرکتی اندک از حدود 5mg± تا شتابهای چند برابر شتاب جاذبه 5g± دارند، مورد توجه قرار گرفت.
هم اکنون در بخش صنعت از این سنسورهای شتابنگاری (MEMS) در سیستم های کیسه هوای خودروها، گوشی های تلفن همراه، هِدهای هارد دیسک های کامپیوترها و غیره بصورت انبوه مورد استفاده قرار میگیرد. همچنین این تکنولوژی در سالهای اخیر جایگاه خاصی در بخش مهندسی پیدا نموده است و در بسیاری از کشورهای پیشرفته و لرزه خیز جهان از سنسورهای ساخته شده بر اساس این تکنولوژی در سامانه های هشدار سریع، کاهش خسارت و پایش سلامت سازه ها استفاده میگردد.
دقت مناسب، هزینه پایین و ابعاد کوچک این سنسورهای خازنی سبب شده است که این تکنولوژی به عنوان گزینه ارجح در ساخت سنسورهای شتابنگاری IIEES-HAT استفاده گردد.